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基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器

發布時間:2013/9/9 15:03:01

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提供者:網絡轉載

【基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器】

資料介紹

具體是一種基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器。本發明解決了現有仿生角速度傳感器體積大、檢測維數單一、不便集成的問題。基于蜜蜂平衡棒的仿生三維角速度傳感器,包括由有機玻璃制成且上下底面為等腰三角形的三棱柱支架,三棱柱支架邊長相等的兩側面上均粘結有平衡棒結構;平衡棒結構包括空心框體、位于水平方向上的兩個檢測梁、以及位于垂直方向上的兩個前寬后窄的驅動梁;在兩個驅動梁上靠近空心框體的部分均依次生長有壓電膜層和Si3N4絕緣層;兩個檢測梁上均固定有阻值為2-3kΩ的P型壓阻條。本發明所述的三維角速度傳感器體積小、功耗低,實現了三維角速度的檢測,可廣泛適用于三維角速度的檢測。

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