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高溫壓力傳感器的熱模擬

發布時間:2013/9/5 17:10:13

文件類型:pdf

資料大小:283.55KB

提供者:網絡轉載

【高溫壓力傳感器的熱模擬】

資料介紹

探討了一種多晶硅高溫壓力傳感器的設計方法,論述了其較一般高溫壓力傳感器的優點及其制造工藝流程。重點利用ANSYS軟件對模型進行了熱模擬,比較了AlN,SiO2與Al2O3分別作為絕緣散熱層時模型中的溫度分布,并且比較了散熱層不同厚度時力敏電阻中心點的溫度。

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