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超低溫薄膜壓力傳感器的研制
發布時間：2013/9/4 11:29:19
文件類型：pdf
資料大小：155.51KB
提供者：網絡轉載
【超低溫薄膜壓力傳感器的研制】
本文對薄膜壓力傳感器的原理、結構、工藝等進行了分析，并介紹了應用離子濺鍍、激光調阻等技術研制成的一種小型超低溫薄膜壓力傳感器。這種傳感器測量范圍寬、精度高、抗振動和抗腐蝕性強，能在-200℃～100℃溫度范圍內穩定可靠工作。
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