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石英微機械慣性傳感器的加工技術

發布時間：2013/9/3 19:57:37

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【石英微機械慣性傳感器的加工技術】

資料介紹

本文討論了石英微機械陀螺的基本結構和工作原理，敘述了用于石英加工的化學各向異性刻蝕機理，給出了石英音叉傳感器的加工方法，提供了我們研制的石英微機械陀螺的試驗結果。

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