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半導體壓力傳感器研制現狀與開發動向

發布時間：2013/8/30 11:43:18

文件類型：pdf

資料大小：270.39KB

提供者：網絡轉載

【半導體壓力傳感器研制現狀與開發動向】

資料介紹

隨著IC制造技術的迅速發展，硅膜片式壓力傳感器及其集成化壓力傳感器受到青睞，對其開發研制相當盛行。本文以應用壓阻效應原理的硅膜片式壓力傳感器為中心闡述半導體壓力傳感器的最近研制現狀與開發動向。

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