壓力傳感器引線鍵合金線的振動(dòng)疲勞研究
發(fā)布時(shí)間：2013/8/30 11:25:27
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【壓力傳感器引線鍵合金線的振動(dòng)疲勞研究】
本文對一種汽車用MEMS壓力傳感器中的鍵合金線，在加速振動(dòng)試驗(yàn)時(shí)的疲勞情況進(jìn)行了研究。首先簡單介紹了MEMS壓力敏感芯片引線鍵合以及引線的基本情況，然后利用有限元方法對引線在20g的加速振動(dòng)下的疲勞和壽命進(jìn)行了分析，并利用了概率上的冗余理論對鍵合工藝提出了改進(jìn)，最后給出了實(shí)際的結(jié)果，證實(shí)了模擬和改進(jìn)工藝的合理性。
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